Минпромторг направит 1,43 млрд рублей на оборудование для микроэлектроники. Речь идет о разработке отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин диаметром до 200 миллиметров, сообщает ТАСС.

Такая автоматизированная линия позволит выполнять травление, очистку и сушку пластин в составе серийных техпроцессов и должна заменить американские и японские аналоги, которые сейчас используются на российском производстве.

Согласно документам, опубликованным на сайте госзакупок, ключевые элементы установки должны быть росийского производства. Использование импортных комплектующих допускается только по согласованию с заказчиком.